样品要求：以固态薄层、表面平整材料为主，比如衬底或者薄膜。粉末、已封装或者有结构之类的特殊样品需要进行适当制备。

1、尺寸要求：5-10mm之间，厚度不超过1mm，真空保存，标记清楚测试面。

2、分析面积100,200,300um见方居多，面积越大溅射速率越慢。

3、测试厚度一般在5um之内，但不超过10um。

4、部分样品可以定量分析（比如，常见的硅中各种掺杂 B, P,As等；各类化合物半导体及其多层结构等），取决于是否有合适的标准样品。