1.最大扫描尺寸410 mm x 460 mm；

2.最大样品尺寸800x500mm；

依据样品品及测试要求不同，送样有所区别，具体情况请联系工作人员沟通。

可进行无损探伤观察样品内部瑕疵、气孔、裂纹，检测产品内部有无装配失误，观察电路板是否虚焊、断路、掉线；

应用于晶圆检测、BGA检测、PCB检测、虚焊检测、IC检测、锂电池检测；

进行无损孔洞测量、无损裂纹检测，无损失效分析，芯片面扫分析等（精度≤800nm）。