二次离子质谱SIMS是一种检测固体表面及近表面的成分信息的技术,几乎能够分析任何真空下稳定的固体,其不仅能够做到从H到U的全元素及同位素分析,同时还可以分析原子团和官能团,并可以对固体进行微区分析成像和深度动态分析。当前,SIMS以其强大的功能和超高的分辨率和优异的检出限而被广泛应用于半导体、生物、医药、化学、材料、天体物理等研究领域。
SIMS可对样品进行成像、成分定性鉴定; 三维成像、二维成像、质谱。对材料表面、界面的元素、分子结构进行分析,分析深度:表面1-3nm,检出限:ppm级别。
Q1、离子后面带的正或者负,为什么都是正一价或负一价呢?
这个正或者负只是代表正离子或者负离子,与价态无关。
Q2、请问测试TOF-SIMS时,正负离子都需要测,那么需要几个样品呢?是在同一个样品上选取不同的区域吗?
如果是质谱和二维成像,是一个位置,因为没有损伤,采集完正的可以继续采集负的;如果是深度分析,需要换位置,分别测试正离子和负离子。
Q3、TOF-SIMS可以测离子含量吗?
答:不能。TOF-SIMS静态二次离子质谱,测试离子强度,定性测试,不能定量。
Q4、 TOF-SIMS中,质谱测试溅射厚度?
一般2到3层原子,小于1nm。
1、样品要求无磁性,粉末样品至少10mg;
2、块体样品尺寸小于1cmx1cmX8mm,最小几毫米大小;
3、需要3D图请选择,默认没有;
4、深度分析具体测试费用与深度、离子有关;
5、如果测试需要和之前的同条件,送样务必提供之前测试条件;
6、正负离子分开测试,测试时间不叠加;
7、样品务必在非测试面划叉“×”,仅仅在测试单上描述是不够的。
注:深度分析测试时间1500元/样(1小时内),超过1小时部分加收1000元/小时;测试时间不叠加。