XRD是一种无损的研究材料结构的方法，HRXRD适合单晶或者外延膜等取向非常好的材料结构研究。

高分辨X射线衍射仪是半导体材料表征的标准装备，常用于材料科学和纳米技术、半导体材料和器件等的研究和生产质量控制。

仪器适用于各种薄膜样品的测试应用，尤其适合外延薄膜和单晶晶圆的结构分析和表征。具体可以测试的内容如下（不限于）：

1. 摇摆曲线分析（omega-2theta, rocking curve）

2. 倒易空间图（Reciprocal Space Mapping）

3. 外延关系判定（Phi-scan）

4. 反射率(XRR)

5. 掠入射表面深度分析(GIXRD)

6. 透射X射线衍射

7. 残余应力(Residual stress)

8. 织构分析(texture)

9. 粉末和块材物相鉴定(Phase analysis)

10. 小角X射线衍射（Small angle XRD）

涉及样品种类包括（不限于）半导体晶圆、单晶、薄膜、药品、金属、纳米材料、有机材料、矿石等。